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国产高端半导体检测设备正式发布：多项性能指标超越国际同类产品
快科技6月29日消息，据“科大硅谷”公众号发文，合肥场景重点服务企业安徽凌光红外科技有限公司（以下简称凌光红外）正式发布LUXETVERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化（EMMI+OBIRCH）二合一显微镜。这款国内首创的集成化电性失效分析设备的正式发布，将为集成电路产业自主可控注人强动能。当前，全球半导体产业步入先进制程时代，芯片内部结构愈发精密复杂，电性失效分析成为芯片研发迭代、良率提升与  
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